不銹鋼真空泵取決于工作溫度和所使用的工作液種類。當泵不帶氣蝕保護時，吸氣壓力不得低于80mbar（在水溫15℃，所抽除干空氣溫度在20℃時，為避免在泵內引起氣蝕），溫度越高，取決于工作飽和蒸汽壓力，所允許的較低吸氣壓力也會越高；泵連續運轉時可抽氣真空，但溫度越高吸氣能力越低，長時間運轉在低于較低允許吸氣壓力下會引起泵的損壞。
1.準備工作
準備合適的工具，如扳手、扁口鉗、十字螺絲刀和平口螺絲刀等工具，還可準備橡膠手套、眼鏡、口罩、瓶子和干凈的布等輔助物品，確認不銹鋼真空泵處于停止運行且壓力已經釋放的狀態，避免拆卸時發生危險。
2.初步檢查與定位
確定單向閥在不銹鋼真空泵上的位置，如果不易確認，可以觀察管道上是否有結霜的位置（因單向閥高出管道一部分，保溫層薄從而結霜），或者用螺絲刀插入保溫層的不同位置試探，淺的地方為單向閥。
3.拆卸相關連接件
若是有連接氣管或連接桿件，先將其拆卸下來。對于連接氣管，可能需要松開卡箍或者拆卸連接螺母；對于連接桿件，可能要用扳手擰下連接螺栓等。如有必要，拆除周圍可能妨礙單向閥拆卸的部件，例如可能需要拆卸進氣管道（如果單向閥在進氣管道附近），使用不銹鋼真空泵扳手或其他工具拆下進氣管道上的螺釘，將管道拆下，同時注意不要損壞進氣管道。
4.拆卸單向閥本身
如果單向閥有壓蓋，且是用螺栓固定的，操作人員要穿好工作服及防護手套、防護面罩后，松動閥芯壓蓋上的所有螺栓。用吹掃槍吹掃單向閥上的結霜（如果有），用銅質工具或木棒輕輕敲擊壓蓋；不銹鋼真空泵有一端沒放空的閥蓋會突然頂開并噴出液態物質時要注意安全；對角保留2個螺栓松至剩余5扣絲狀態，除掉另外的螺栓，握住閥蓋輕輕松動至較大狀態，再次確認閥體內無殘液或高壓氣體后，除掉保留的螺栓，取下閥芯。
如果有專用的單向閥拆卸工具，可按照工具的使用方法進行拆卸。例如從工具袋取出單向閥拆解專用工具，從單向閥的一端開始拆解；拆解外側兩端的蓋子時，將專用工具插入蓋子上面的兩個孔內，將閥放在油泵的一端，用手按住專用工具，然后用活動扳手慢慢敲打。操作過程中要不銹鋼真空泵小心謹慎，防止零件丟失、變形或者損壞。如果發現零件變形或損壞，需要及時更換，在拆卸有壓力或者可能殘留介質的單向閥時，要確保安全操作，防止介質噴出傷人。
