停止羅茨真空機組的運轉，并進行適當拆卸。使用刷子或清潔劑清潔羅茨葉輪，注意不要讓水進入葉輪內部。
使用濕潤的布擦拭羅茨外殼，確保污垢和灰塵被清除。清理羅茨真空機組進氣口和出氣口，確保其通暢無阻。檢查并清潔管道系統，確保無堵塞和漏氣現象。
檢查軸承是否有松動或損壞，并適時添加潤滑油。檢查密封件是否完好無損，并及時更換任何磨損或老化的密封件。
如果羅茨真空機組采用了磁力偶合裝置，注意檢查其定位是否準確，并進行校準。按照羅茨真空泵的使用說明書，制定并執行定期保養計劃。安裝過濾器可以有效防止顆粒和污染物進入。羅茨真空機組應放置在干燥、通風和無塵的環境中。
此外，還可以考慮使用化學清洗物如苛性鈉溶液或有機溶劑進行浸洗，然后用水多次沖洗，并將羅茨真空機組零部件用熱風吹干或在烘箱中烘干。在進行氣動清洗時，需要注意空氣壓力是否正常，并捕捉和處理清洗后的污水。
